详情描述:
Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的氩气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的极佳真空解决方案。