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CombiNEG 吸气剂复合型离子泵结合了先进的安捷伦(原瓦里安)离子泵技术与 SAES 烧结型非蒸散型吸气剂 (NEG)。这款吸气剂复合型离子泵可提高可吸收气体、甲烷和惰性气体的泵速,压力可低至 10–12 mbar。