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IDP-10X170 L/min, 10.2 m 3/h转速下2.0 x 10-2 mbar 1.5 x 10-2 Torr0.5 HP (350 W)/100-127; 200-240 VAC显微镜仪器表面分析仪器氦气再循环薄膜沉积想要在所有输入频率下确保通用的泵性能想要远程抽速控制或远程开关功能