详情描述：
安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵采取并联方式电连接，并且在断电时可以快速关闭，从而防止油返流或颗粒进入您的真空系统。该阀门还从入口侧对泵排空，这样可以将碎屑全部推向出口，从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。阀体设计和直角式构造提供了极大的真空流导。
