pfeiffer分子泵维修 ATH 2804 M

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我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术，我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位，此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。